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TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀

型    號:
所屬分類:3D光學表面輪廓粗糙度儀
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瑞士(shi) TRIMOS TR-scan非(fei)接觸(chu)式微(wei)觀形貌(mao)測量(liang)儀(yi) ,全自(zi)動共(gong)焦三維測量(liang)。具有完善(shan)的分析功(gong)能模塊,對其表面(mian)形貌(mao)進行輪廓(kuo)、面(mian)積、體積、粗(cu)糙(cao)度、截面(mian)等測量(liang)。

TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀的詳細資料:



TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀

Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀,全自動共焦三維測量。于刀具制造工業,根據多點譜線共焦,一次入射200束光到工件表面,在每束光路上自動聚焦,快速獲得刀具表面三維形貌,采用此次多點譜線共焦傳感器和圖像處理系統,可以對各種復雜的刀刃及其模具進行準確的測量,具有完善的分析功能模塊,對其表面形貌進行輪廓、面積、體積、粗糙度(du)、截面(mian)等測(ce)量。

 

TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀主要特點:

  • 強(qiang)大的多點(dian)共焦技術,zui準(zhun)確的測量出(chu)表(biao)面形貌(mao)數(shu)據(角度(du)、半(ban)徑、輪廓、粗糙度(du))

  • 通過光學方式測量Ra、Rq、Rz等粗糙(cao)度參數

  • 測量速(su)度快,可整合成一(yi)個(ge)高(gao)效的在(zai)線測量系統

  • 適用于(yu)陡峭的(de)斜面(mian),爬坡角度高達85度

  • 垂直(zhi)分辨(bian)率高達30nm

  • TRSCAN是*可同時獲得表面(mian)形貌(mao)和真實(shi)顏色信(xin)息的3D測(ce)量(liang)設(she)備,測(ce)量(liang)更加精確靈活(huo)

  • 通過腳本自動測(ce)量(liang),更適用于批量(liang)測(ce)量(liang),并生成圖形或數字(zi)報(bao)告(gao)

  • 粗糙(cao)度(du)和輪廓測量符合*EN/ISO4287標準

  • 可用于(yu)選定區域的面(mian)積及體(ti)積計(ji)算

  • 可選配轉臺,實現三(san)維(wei)掃面

  • 可(ke)用于(yu)復雜幾何(he)外形的形狀分析,可(ke)測量(liang)角度、半(ban)徑等表面特(te)征

技術參數:

 

 工作臺(tai)移動范圍X 100mm
 工(gong)作臺移動范(fan)圍Y 固定式
 工(gong)作臺(tai)移(yi)動范圍Z 240mm
 XYZ軸zui小(xiao)位(wei)移(yi)量0.1μm 
 XYZ軸定位精度 1μm
 XY軸導軌直線度 1.5μm
 工件zui大(da)重(zhong)量(liang)20kg 
 測量原理非(fei)接觸式多點譜線共(gong)焦傳感器 
 光源 白(bai)色LED共(gong)軸光,高(gao)強光,數字可控(kong)
 色譜共焦傳(chuan)感(gan)器 CLS0.2 CLS1 CLS4
 線寬 0.96mm 1.92mm 4.8mm
 工作距(ju)離 5.3mm18.2mm 39mm 
 光斑(ban)間隙5μm10μm 25μm 
 光斑(ban)大小 2μm4μm 10μm 
 爬坡坡度 ±44deg  ±33deg  ±20deg
 測量范圍 200μm950μm 4mm 
 軸向(xiang)分辨率30nm 120nm 500nm 
 精(jing)度 90nm360nm 1.5μm 
 厚度zui小分(fen)辨率15μm 70μm 300μm 
 測量zui大厚度300μm 1.5mm 6mm 


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