德國LAMTECH平面度測量機,采用掠入(ru)射光(guang)(guang)干涉原理(li),專注(zhu)于高精密(mi)加(jia)工(gong)表面平面度快速測(ce)量評估, 廣(guang)泛應用于半導體(ti)行業(Wafers)、LCD掩(yan)膜(mo)(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、閥門(men)密(mi)封件表面(Sealing surfaces),以(yi)及光(guang)(guang)學工(gong)程(cheng),激(ji)光(guang)(guang)工(gong)程(cheng)等領域(yu)。
德國LAMTECH平面度測量機產品特點(dian):
◆ 非接觸式平(ping)面度測量接觸
◆ 高精密評估: <0.4µm
◆ 測(ce)量速度快(kuai): <3秒(miao)
◆ 可用(yong)于車間現場, 100%全(quan)檢
◆ 平面度評估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三維(wei)形貌評估軟件, 可支持(chi)CNC編程批量檢測(ce)
◆ 表面(mian)自動識別(bie)系統, 或手(shou)動區域(圓, 圓環(huan), 矩形區域)評估
◆ 數據采集量大, 一次(ci)完成(cheng)對300,000點(dian)的評估(gu)
◆ 快速生成(cheng)報(bao)告并(bing)保存為.csv數據格(ge)式(shi), 支(zhi)持Q-das等統計分析(xi)軟件(jian)
◆ 廣泛應用于拋光, 研(yan)磨(mo)或(huo)細磨(mo)精(jing)密(mi)表面, 像閥(fa)門盤, 密(mi)封環等(deng)
德國LAMTECH平面度測量機技術(shu)參數: